半導體參數測試儀與MM探針台

功能：

可提供直流電壓/電流輸出，直流電壓/電流測量和交流信號輸出以及阻抗測量

主要技術指標：

探針台：

1.探針台主機：卡盤XY運動範圍200mm*200mm,Z軸運動範圍25mm

2.絲(si) 杆軸承確保移動，分辨率3.5um

3.針座：精度0.7um

4.加熱台: 溫度範圍室溫-400℃

半導體(ti) 參數測試儀(yi) 與(yu) MM探針台

半導體(ti) 參數測試儀(yi)

1.直流I-V測試：

具有4路SMU，其中2路中等功率SMU，2路高分辨率SMU, 可同時測量電壓分辨率0.5μV、電流分辨率0.1fA

2.C-V測試：頻率1KHz-5MHz；偏置電壓：±25V；測量精度±0.2 %

3.可實現C-V和I-V測量間自動切換，不會(hui) 影響測量精度

4.脈衝(chong) IV：

提供兩(liang) 路快速IV/脈衝(chong) 輸出，具有任意波形產(chan) 生功能

脈衝(chong) 寬度：50ns；脈衝(chong) 電平範圍：-5V~+5V，+/-10V~0V (50 Ω負載)；電壓測量精度：±0.1%讀值, ±0.1% 量程；電流測量精度：±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程

主要用途

支持二極管、三極管、MOS管等半導體(ti) 器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量，準靜態和中頻電容-電壓(C-V)測量，時域測量等。

半導體(ti) 參數測試儀(yi) 與(yu) MM探針台/係統集成

半導體(ti) 參數測試儀(yi) 與(yu) MM探針台/係統集成