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| 品牌 | HUACE/米兰app下载并安装 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
Huace HT-11高低溫真空探針台
華測半導體(ti) 封裝材料高低溫真空探針台
華測半導體(ti) 封裝材料高低溫真空探針台特點/應用
◆ 2至6英寸樣品台
◆ 高真空腔體(ti)
◆ 防輻射屏設計，樣品溫度均勻性更好
◆ 77K-675K高低溫環境
◆ 兼容IV/CV/RF測試
◆ 外置多探針臂，移動行程大
◆ 經濟實用，可無縫升級
華測半導體(ti) 封裝材料高低溫真空探針台極低溫測試:
因為(wei) 晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會(hui) 凝結在晶圓上，會(hui) 導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nei) 的水汽在測試前用泵抽走，並且保持整個(ge) 測試過程泵的運轉。
高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會(hui) 越來越明顯，並且溫度越高氧化越嚴(yan) 重。過度氧化會(hui) 導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nei) 的氧氣在測試前用泵抽走，並且保持整個(ge) 測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為(wei) 熱脹冷縮現象，定位好的探針與(yu) 器件電極間會(hui) 有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位於(yu) 腔體(ti) 外部。我們(men) 也可以選擇使用操作杆控製的自動化針座來調整探針的位置。
華測半導體(ti) 封裝材料高低溫真空探針台技術參數：
腔體(ti) 規格 | |
樣品台尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
樣品固定 | 彈簧壓片 |
觀察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
真空度 | 10-6torr |
探針臂接口 | 4~6個(ge) 探針臂接口 |
其他接口 | 電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
製冷方式 | 液氮/液氦/製冷機 |
溫度範圍 | 77K到573K/4.5K到573K |
溫控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
穩定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K外形 |
外形 | 880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高 |
重量 | 約20KG/30KG |
光學係統 | |
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體(ti) 式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | 水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬(wan) 像素/500萬(wan) 像素/1200萬(wan) 像素 |
探針臂 | |
X-Y-Z移動行程 | 50mm*50mm*50mm |
結構 | 外置探針臂，真空波紋管結構 |
移動精度 | 10微米/1微米 |
線纜 | 同軸線/三軸線/射頻線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
頻率支持 | DC-67GHZ |
針尖直徑 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
其他組件 | |
真空組件 | 分子泵組/機械泵/離子泵 |
冷源組件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/製冷機 |
可選附件：
超高溫配件；
顯示器；
轉接頭；
射頻測試配件；
屏蔽箱；
光學平台；
鍍金卡盤；
光電測試配件；
高壓測試配件；
分子泵組；
激光係統；
氣敏測試配件；
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