高溫四探針測量係統Huace-600測試儀器

操控性好高溫四探針測量係統Huace-600測試儀(yi) 器

操控性好高溫四探針測量係統Huace-600測試儀(yi) 器概述：

●Huace-600高溫四探針測量係統，該係統可以測量矽、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定矽外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻，該設備按照單晶矽物理測試方法標準設計的。

●采用由四端測量方法測試電阻率係統與(yu) 高溫試驗箱為(wei) 一體(ti) 的的高溫測試係統，滿足半導體(ti) 及導體(ti) 材料因溫度變化對電阻值變化的 測量要求，通以在高溫 、真空、氣氛的條件下測量導電材料電阻和電阻率，可以分析被測樣的電阻和電阻率隨溫度、 時間變化的曲 線． 目前主要針對圓片、方塊、長條等樣品進行測試，可以廣泛用於(yu) 碳係導電材料、 金屬係導電材料、 金屬氧化物係導電材料、結 構型高分子導電材料、複合導電材料等材料的電阻率測量。 過測控軟件可以顯示出溫度與(yu) 電阻，電阻率，電導率數據的變化曲 線。

儀(yi) 器特點：

1、可以測量高溫、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率；

2、軟件、觸摸屏、高溫爐等集成於(yu) 一體(ti) ，可以進行可視化操作；

3、可實現純淨氣氛條件下的測量；同時保證探針在高溫下不氧化；

4、采用labview軟件開發，操控性、兼容性好、方便升級；

5、可自動調節樣品測試電壓，探針和薄膜接觸閃絡現象；

6、控溫和測溫采用同一個(ge) 傳(chuan) 感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度；

7、可配套使用Keithley2400或2600數字多用表；

特點:

● 多級循環溫度采集技術： 設備采用PID算法，以及多級循環溫度采集以保證溫度的有效值。控溫和測溫采用同一個(ge) 傳(chuan) 感器，保證樣品每次采集的溫度都 是樣品實際溫度.

● 雙係統互鎖技術及隔離屏蔽技術： 本設備不僅(jin) 具備過壓、過流保護係統，雙係統互鎖機製，當任何元器件出現問題或單係統出現故障時，將瞬間切斷 電源。采用低通濾波電流檢測技術以保證采集電流的有效值 ，以及電流抗幹擾的屏蔽。

● SPWM電子升壓技術 目前設備大都采用SPWM電子升壓技術，這一技術具有升壓速度平穩，精度高。便於(yu) 維護等優(you) 點是調壓器。