什麽是微機電係統？

微機電係統，也叫做微電子機械係統、微係統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電係統是在微電子技術（半導體(ti) 製造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、矽微加工、非矽微加工和精密機械加工等技術製作的高科技電子機械器件。

微機電係統是一種先進的製造技術平台。它是以半導體(ti) 製造技術為(wei) 基礎發展起來的。MEMS技術采用了半導體(ti) 技術中的光刻、腐蝕、薄膜等一係列的現有技術和材料，因此從(cong) 製造技術本身來講，MEMS中基本的製造技術是成熟的。但MEMS更側(ce) 重幹超精密機械加工，並要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科麵也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表麵等物理學的各分支。（文章部分來源於(yu) 網絡）

華測精密壓電 MEMS 分析儀(yi) /微機電係統將數字、模擬和通信電路功能與(yu) 精密多鐵非線性材料試驗機的現有非線性材料測量功能相結合，所有功能均由 Radiant 的 Vision 可編程測試環境監督。PiezoMEMS分析儀(yi) 不僅(jin) 測量商業(ye) 產(chan) 品的致動器和傳(chuan) 感器元件的壓電特性，還將與(yu) 產(chan) 品的電子邏輯通信，與(yu) 嵌入式微處理器通信，提供異步電壓和脈衝(chong) ，並測量傳(chuan) 感器頻率。