視頻采集技術在四探針測試係統中的應用

四探針測試技術是半導體(ti) 生產(chan) 中主要監測手段之一，並且在半導體(ti) 材料的測量中發揮著越來越重要的作用。四探針測試技術是一種測量技術，在有些情況下還需要有高分辨率。每一種四探針法對探針的結構、位置和針尖距都有不同的要求，一般情況下，針距都是很小的，可能低於(yu) 1mm。在大片徑樣品測量中，要盡可能地減小測量區域，以便好地觀測樣品電阻率的不均勻性。

鑒於(yu) 以上原因，在測量時需要對測試台、樣品和探針都進行細微的實時監測，保證測量是在允許的情況下進行的。但是人的肉眼的分辨率有限，直接依靠肉眼觀測容易疲勞而產(chan) 生誤判，而且不能進行記錄，會(hui) 給測量結果帶來很大的誤差。通常情況下可以通過顯微鏡解決(jue) 肉眼分辨率低的問題，但是檢測起來還是相當麻煩。視頻采集技術的發展可以很好地解決(jue) 以上問題，能對測試過程進行圖像采集、記錄和分析，達到實時監測的要求，而且有很高的分辨率，方便測量員對測量過程的控製。

視頻采集技術在四探針測量中發揮著重要作用，主要體(ti) 現在兩(liang) 個(ge) 方麵：

1）對顯微鏡監測對象的圖像進行實時采集；

2）對采集到的視頻數據進行處理，包括分析、記錄和顯示。一般可以借助計算機實現視頻信息的記錄與(yu) 顯示，從(cong) 而使得傳(chuan) 統的探針測試台與(yu) 計算機技術緊密地結合起來。

視頻采集技術的引進實現了對四探針測量過程真正意義(yi) 上實時監測，提高了測試儀(yi) 的控製精que性，從(cong) 而提高了測量結果的精度和準確性，尤其對觀測樣品電阻率的不均勻性有很大的幫助。