我國傳感器及儀器儀表的戰略目標和發展重點

傳(chuan) 感器和儀(yi) 器儀(yi) 表的技術和產(chan) 品，經過發展，有了較大的提高。全國已經有1600多家企事業(ye) 單位從(cong) 事傳(chuan) 感器和儀(yi) 表元器件的研製、開發、生產(chan) 。但與(yu) 相比，我國傳(chuan) 感器和儀(yi) 表元器件的產(chan) 品品種和質量水平，尚不能滿足市場的需求，總體(ti) 水平還處於(yu) 上世紀90年代初期的水平。

　　存在的主要問題有：

　　(1)科技差，核心製造技術嚴(yan) 重滯後於(yu) ，擁有知識產(chan) 權的產(chan) 品少，品種不全，產(chan) 品技術水平與(yu) 相差15年左右。

　　(2)投資強度偏低，科研設備和生產(chan) 工藝裝備落後，成果水平低，產(chan) 量差。

　　(3)科技與(yu) 生產(chan) 脫節，影響科研成果的轉化，綜合實力較低，產(chan) 業(ye) 發展後勁不足。

　　戰略目標

　　到2020年，傳(chuan) 感器及儀(yi) 表元件領域應爭(zheng) 取實現三大戰略目標：

　　(1)以工業(ye) 控製、汽車、通訊、環保為(wei) 重點服務領域，以傳(chuan) 感器、彈性元件、光學元件、電路為(wei) 重點對象，發展具有知識產(chan) 權的原創性技術和產(chan) 品;

　　(2)以MEMS工藝為(wei) 基礎，以集成化、智能化和網絡化技術為(wei) 依托，加強製造工藝和傳(chuan) 感器和儀(yi) 表元器件的開發，使主導產(chan) 品達到和接近同類產(chan) 品的水平;

　　(3)以增加品種、提高質量和經濟效益為(wei) 主要目標，加速產(chan) 業(ye) 化，使國產(chan) 傳(chuan) 感器和儀(yi) 表元器件的品種占有率達到70%~80%，產(chan) 品達60%以上。

　　發展重點

　　傳(chuan) 感器技術

　　(1)MEMS工藝和新一代固態傳(chuan) 感器微結構製造工藝：深反應離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝;封裝工藝：如常溫鍵合倒裝焊接、無應力微薄結構封裝、多芯片組裝工藝;傳(chuan) 感器：如用微矽電容傳(chuan) 感器、微矽質量流量傳(chuan) 感器、航空航天用動態傳(chuan) 感器、微傳(chuan) 感器，汽車壓力、加速度傳(chuan) 感器，環保用微化學傳(chuan) 感器等。