電容式傳感器常用的測量電路

                     電容式傳(chuan) 感器常用的測量電路

   電容式傳(chuan) 感器的測量電路就是將電容式傳(chuan) 感器看成一個(ge) 電容並轉換成電壓或其他電量的電路。因此，常用的測量電路主要有橋式電、調頻電路、脈衝(chong) 寬度製電路、運算放大器電路、二極管雙T形交流電橋和緩刑二極管充放電法等。

   調頻電路實際是把電容式傳(chuan) 感器作為(wei) 振蕩器諧振回路的一部分,當輸入量導致電容量發生變化時，振蕩器的振蕩頻率就發生變化。雖然可將頻率作為(wei) 測量係統的輸出量，用以判斷被測非電量的大小，但此時係統是非線性的，不易校正，因此得加入鑒頻器，將頻率的變化轉換為(wei) 電壓振幅的變化，經過放大就可以用儀(yi) 器指示或記錄儀(yi) 記錄下來。  

  在實際應用中，常采用差動式結構，即使靈敏度提高1倍，又使非線性誤差大大降低，抗力增強。電容式傳(chuan) 感器可用來測量直線位移、角位移、振動振幅(測至0.05μm的微小振幅)，尤其適合測量高頻振動振幅、精密軸係回轉精度、加速度等機械量，還可用來測量壓力、差壓力、液位、料麵、糧食中的水分含量、非金屬材料的塗層、油膜厚度、測量電介質的濕度、密度、厚度等。在自動檢測和控製係統中也常常用來作為(wei) 位置信號發生器。  

從(cong) 能量轉換的角度而言，電容變換器為(wei) 無源變換器，需要將所測的力學量轉換成電壓或電流後進行放大和處理。力學量中的線位移、角位移、間隔、距離、厚度、拉 伸、壓縮、膨脹、變形等無不與(yu) 長度有著密切的量；這些量又都是通過長度或者長度比值進行測量的量，而其測量方法的相互關(guan) 係也很密切。

另外，在有些條件下，這些力學量變化相當緩慢，而且變化範圍極小，如果要求測量極小距離或位移時要有較高的分辨率，其他傳(chuan) 感器很難做到實現高分辨率要求，在精密測量中所普遍使用的差動變壓器傳(chuan) 感器的分辨率僅(jin) 達到1～5μm數量級；而有一種電容測微儀(yi) ，他的分辨率為(wei) 0.01μm，比前者提高了兩(liang) 個(ge) 數量級，zui大量程為(wei) 100±5μm，因此他在精密小位移測量中受到青睞。